金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“物体保持器和制造方法”的专利，公开号CN120153325A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，一种物体保持器，被配置为支撑物体。物体保持器（20）包括：芯体（21），该芯体包括多个突节（22），多个突节的远端（23）处于支撑平面（24）中以用于支撑该物体。物体保持器还包括位于突节之间的静电片（25）。静电片包括：电极（26），该电极包括金属，和金属氧化物层（27、28），该金属氧化物层包括金属的氧化物。电极夹在金属氧化物层之间。

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